全 称:六甲基二硅氮烷(电子级)
英文全称:Hexamethyldisilazane
C A S:999-97-3
分 子 式:C6H19NSi2
分 子 量:161.39
化学名称:六甲基二硅氮(胺)烷
分子式:C6H19NSi2
化学结构式:
主要技术指标
项目Item |
指标I ndex |
外观Appearance |
无色透明液体Colorless transparent liquid |
含量Assay |
≥99.9% |
折光率Refractive index (25°) |
1.4060-1.4100 |
密度Density |
0.770-0.780 |
氯离子 Free available chlorine |
≤2 ppm |
金属离子 metal ions |
<5 ppb |
水分 water |
<50 ppm |
颗粒物 Particle 0.5um |
<50 |